Ergebnis der Vergabe
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Reaktives-Ionenätzen-System
Beschreibung
Für die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto
Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.
Analyse ansehenAngaben aus der Bekanntmachung
- Ort
- Stuttgart
- Bundesland
- Baden-Württemberg
- CPV
- 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 27.11.2024
- Zuschlag am
- 07.11.2024
- Kennung
- 1b313e2c-e5c7-4244-a658-4f4d4097fa06
- Quelle
- TED (EU-Amtsblatt)
Lose
- Los 1
Zuschlag
- Oxford Instruments GmbHWiesbaden
Einordnung
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) im Bestand
Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen
Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 10.10.2026.
Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Baden-Württemberg
Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Zuschlagsreif; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 10.10.2026. Alle Zuschläge
Zum Vergabeportal
Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 27.11.2024, 00:00.