Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – WDH - Maskless Aligner

457.300 € Schätzwert der Vergabestelle

1 Bieter

1 Los

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Ort: Jena
Bundesland: Thüringen
CPV: 38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Veröffentlicht: 18.06.2024
Zuschlag am: 14.06.2024
Kennung: aaa004ff-047e-4efd-9eb7-16a7d89c2d13
Quelle: TED (EU-Amtsblatt)

Lose

Los 1

Zuschlag

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHHeidelberg

Einordnung

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. im Bestand

91 Ausschreibungen (davon 68 Ergebnisse)

3,0 Ø Bieterzahl (31 Ergebnisse)

184.171 € Median Zuschlagswert (55 Zuschläge)

31,3 Tage Ø Tage bis zur Frist (23 Ausschreibungen)

Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen

Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 10.10.2026.

Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Thüringen

204 Zuschläge vom 01.11.2024 bis 10.10.2026

1,0 Median Bieterzahl (170 Zuschläge mit Angabe)

216.125 € Median Zuschlagswert (133 Zuschläge mit Wert)

56 Tage Median von Bekanntmachung bis Zuschlag (151 Verfahren)

Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Zuschlagsreif; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 10.10.2026. Alle Zuschläge

Zum Vergabeportal

Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 18.06.2024, 02:00.