Ergebnis der Vergabe

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Plasmaverascher IZHH

Beschreibung

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zum Entfernen von für die Strukturierung eingesetzten Fotolackmasken von Substraten und Wafern wird eine Anlage zur Veraschung in einem O2-haltigen Plasma benötigt. Neben dem Veraschungsprozess soll die Anlage auch eine sanfte Plasma-Vorbehandlung ermöglichen, zum Beispiel für das Entfernen von organischen Verunreinigungen vor einer galvanischen Beschichtung. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.

Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Ort

Köln

Bundesland

Hamburg

CPV

38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Verfahrensart

Offenes Verfahren

Veröffentlicht

02.02.2024

Kennung

f673bb97-52e1-4296-ae7a-45587765799f

Quelle

TED (EU-Amtsblatt)

Lose

• Los 1

Einordnung

Zum Vergabeportal

• Original-Bekanntmachung

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 02.02.2024, 01:00.