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Ausschreibung

ALD-Anlage

Zu diesem Verfahren liegt bereits ein Zuschlag vor. Die Frist unten steht so in der Bekanntmachung; vergeben ist der Auftrag trotzdem. Zum Ergebnis

11.08.2026, 13:00 Angebotsfrist · abgelaufen
461.344 € Schätzwert der Vergabestelle
1 Los

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Ort
Jena
Bundesland
Thüringen
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
07.07.2026
Angebotsfrist
11.08.2026, 13:00
Kennung
57f11d62-9298-47b4-ba2c-1f6ddc1f276c
Quelle
oeffentlichevergabe.de (Bund)

Lose

Einordnung

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. im Bestand

91 Ausschreibungen (davon 68 Ergebnisse)
3,0 Ø Bieterzahl (31 Ergebnisse)
184.171 € Median Zuschlagswert (55 Zuschläge)
31,3 Tage Ø Tage bis zur Frist (23 Ausschreibungen)

Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen

Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 10.10.2026.

Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Thüringen

204 Zuschläge vom 01.11.2024 bis 10.10.2026
1,0 Median Bieterzahl (170 Zuschläge mit Angabe)
216.125 € Median Zuschlagswert (133 Zuschläge mit Wert)
56 Tage Median von Bekanntmachung bis Zuschlag (151 Verfahren)

Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Zuschlagsreif; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 10.10.2026. Alle Zuschläge

Verlauf des Verfahrens

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 25.09.2026, 06:44.