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Ergebnis der Vergabe

Laserlithographie

2 Bieter
1 Los

Beschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Analyse: Zuschlagskriterien, Eignung, Checkliste — mit Konto

Mit einem Konto liest Zuschlagsreif die Vergabeunterlagen dieses Verfahrens und erstellt daraus eine Analyse: Zuschlagskriterien mit Gewichtung, Eignungsanforderungen, Zeitplan und eine Checkliste der einzureichenden Unterlagen.

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Angaben aus der Bekanntmachung

Auftraggeber
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort
Köln
Bundesland
Baden-Württemberg
CPV
38000000 — Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
04.09.2026
Zuschlag am
11.08.2026
Kennung
960e1da6-4065-47b3-8c8a-815e583e2cdc
Quelle
oeffentlichevergabe.de (Bund)

Lose

Zuschlag

Einordnung

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) im Bestand

1.714 Ausschreibungen (davon 1.103 Ergebnisse)
3,1 Ø Bieterzahl (510 Ergebnisse)
401.376 € Median Zuschlagswert (372 Zuschläge)
30,1 Tage Ø Tage bis zur Frist (576 Ausschreibungen)

Auftraggeberprofil: alle Verfahren und Kennzahlen

Quelle: veröffentlichte Bekanntmachungen dieses Auftraggebers aus den angebundenen Vergabeportalen, Stand 10.10.2026.

Vergleichbare Verfahren: Labor- und Messtechnik in Baden-Württemberg

419 Zuschläge vom 01.11.2024 bis 10.10.2026
1,0 Median Bieterzahl (320 Zuschläge mit Angabe)
271.121 € Median Zuschlagswert (142 Zuschläge mit Wert)
53 Tage Median von Bekanntmachung bis Zuschlag (194 Verfahren)

Quelle: veröffentlichte Zuschlagsbekanntmachungen derselben CPV-Abteilung (38) im Bestand von Zuschlagsreif; Werte, die ein Portal nicht veröffentlicht, fehlen in der jeweiligen Zahl. Stand der Auswertung: 10.10.2026. Alle Zuschläge

Verlauf des Verfahrens

Änderungen der Bekanntmachung

Zum Vergabeportal

Verbindlich sind allein die Angaben auf dem Vergabeportal. Stand dieser Seite: 25.09.2026, 06:54.